私の「推し」は、Dymatrix™︎ シリーズの特殊集積弁（AVSIV）で定圧弁、On-Off弁、ニードル弁、サックバック弁など複数のバルブを一体化した製品です。

半導体製造の現場では、限られたスペースに多くの配管が入るため、個々の機能を持ったバルブを複数配置することが難しいという課題があります。

そのため、装置のコンパクト化が求められ、複雑な配管系統をシンプルにすることがマストとなってきます。

特殊集積弁（AVSIV）は、複数の機能が1つにまとまっており、しかも小型です。
もちろん精密制御※にもお役立ちできます。

業界の高度な要求に応えることができる点が、大きな強みですね。

Dymatrix™︎ は、半導体製造装置向けのフッ素樹脂製※バルブシリーズです。

一般的なASAHIAV™ 製品とは異なり、半導体製造工程で求められる耐薬品性・耐熱性・清浄性※に特化しており、半導体製造装置メーカーのお客様より長年評価いただいています。

高く評価される理由は大きく3つあります。

・酸やアルカリ、オゾンなどの幅広い液種での耐薬性
・最高200℃の高温下でも対応できる耐熱性
・低溶出、低発塵

という特長があるから、ですね。

まず、半導体製造工程の1つである洗浄工程では、特殊な薬液を扱います。

金属製のバルブだと腐食や劣化のリスクがありますが、フッ素樹脂ならその心配がありません。

また、半導体製造の現場では、わずかなゴミが命取りにつながるため、“ゴミを出さない”という特性は極めて重要です。

ひとことでいうと、「組み合わせによって価値が最大化する」バルブですね。

個々のバルブが持つ精度や制御性を損なわずに、複数の機能を１つにまとめられることで

・配管の自由度向上
・装置内スペース削減
・メンテナンスの効率化

といったメリットが生まれます。

特に最近は、半導体製造の現場で使用される装置そのものの小型化が急速に進んでいます。
そのためバルブサイズが大きなものは、設置できないという状況も増えています。
AVSIVのような特殊集積弁に注目が集まっています。

はい、非常に重要です。
バルブ1つのサイズ差が、装置全体のレイアウトや生産効率に影響します。

具体的に申し上げますと、エンドユーザーであるデバイスメーカー様では、主に

・ファブ（工場）のスペース効率最大化
・コスト削減（多品種少量生産）
・物理的な製造精度の向上

という点から、装置のコンパクト化を求められています。

また、スペースだけでなく、精度や品質面での要求も非常に高い領域です。
パーティクル※（発塵）の発生をどれだけ抑えられるかが品質に直結するため、バルブ内部の設計や材質選定には細心の注意が必要です。

主に洗浄工程、CMP工程※など、半導体製造の重要な工程で採用されています。

・スペース削減
・精密な流量制御
・メンテナンス性向上

などの点で高く評価され、「最先端の半導体をDymatrix™︎ が支えている」という実感があります。

責任は大きいですが、その分非常にやりがいがある分野ですね。

AIや先端半導体需要の急拡大により、半導体は“社会を支える基盤技術”としてさらに重要性が増しています。

その製造工程で欠かせないのが、薬液や流体を正確にコントロールするバルブです。

Dymatrix™︎ シリーズは、それらのニーズにお応えしながら、特殊集積弁のようにバルブとしての精度・制御性を維持したまま集積できる製品も開発してきました。

こういった業界動向に広く、深く、柔軟にお応えできるのは、旭有機材にしかできない強みだと思います。