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応力解析を駆使し、樹脂製ウエハーチェックの強度不安を解消しました。
接液部はオール樹脂製。スプリングにもコーティングを施しております。
重量は金属製の約1/3-1/5。面間も小さく、配管取り付け作業も軽減できます。
配管時にガスケットを必要としません。また、ストッパーと一体構造型ですので、コストダウンに貢献いたします。